更新時間：2023-11-22
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日本SATO佐藤真空（PHIL） 低真空用真空計系列產(chǎn)品，測量范圍含蓋普通大氣壓的低真空到高真空((101kPa～1×10-7Pa)廣泛的量測范圍，機(jī)種豐富，齊全。按各種用途，使用環(huán)境，分為數(shù)字式，模似式，可供用戶選擇。特別是皮拉尼真空計（PIRANA VACUUM GAUGE）采對敏感壓力傳感器器件，對于壓力變力環(huán)境亦有長壽命，高信賴性，以前的皮拉尼真空計不能正測量的情況現(xiàn)在也可以測量。133.3Pa～大氣壓的減壓領(lǐng)域的高精度壓力測量開始可以實現(xiàn)了。同時，數(shù)字顯示皮拉尼真空計的PVD-9500-7型真空計也實現(xiàn)了化時代的價格。佐藤真空為廣大用戶提供了各種的產(chǎn)品線，給廣大用戶更多的選擇。
日本SATO佐藤真空（PHIL） 低真空用真空計技術(shù)參數(shù)
| 品名 | 型號 | 測量范圍 | 表示方式 |
|---|---|---|---|
| 薄膜真空計，隔膜真空計，電容真空計 | PVD-9500-5 | 119kPa～0.2kPa | 數(shù)字表示 |
| PVD-9500-L11 | 1333Pa～1Pa | ||
| PVD-9500-L21 | 13.3kPa～0.01kPa | ||
| PVD-9500-L31 | 133.3kPa～0.2kPa |
PVD-9500-5型真空計
操作簡單，真空控制方便，數(shù)字式真空計，具有如下特點：
真空壓力3點設(shè)定，可以適用于各種用途。
高信賴性的絕對壓真空計，采用擴(kuò)散型半導(dǎo)體壓力傳感器，壓力變動劇烈的環(huán)境亦具有高信賴性，長壽命的特點。
| 測量范圍 | 119kPa～0.2kPa |
|---|---|
| 圧力単位 | kPa |
| 表示周期 | 10回／秒 |
| 控制輸出 | 接點輸出3點獨立 |
| 繼電器接點輸出 AC110V 6A， 220V 3A（電阻負(fù)載） | |
| 電源電壓 | AC 110V±10% 50Hz／60Hz 20VA |
| 尺寸 | W120×D200×H90 mm |
| 重量 | 1.8kg 測定子380g |
| 測定子 | PS-900型 φ15測量接口， 2M接線 |
*可選項：接線3M，6M，12M/面板安裝支架（PM9321）
輸出線BNC接頭（PM9322）/電源3P-2P適配器（PM9324）
半導(dǎo)體壓力傳感器的工作原理
結(jié)晶體受到機(jī)械外力影響后結(jié)晶結(jié)構(gòu)發(fā)生扭曲，壓阻效應(yīng)使晶體本身的電阻發(fā)生變化。擴(kuò)散型半導(dǎo)體壓力傳感器是硅經(jīng)過薄化加工形成壓感薄膜（受壓部），形成擴(kuò)散電阻。此薄膜受到壓力時，產(chǎn)生應(yīng)力，應(yīng)力的大小變化的同時，電阻隨之變化，就生電阻效應(yīng)。
本真空計適用于各種品質(zhì)管理，真空干燥，真空含浸等用途。
| 1) | 真空干燥：樹脂類的脫泡，醫(yī)藥品（搞生物質(zhì)?人工肝臟）等食品的低溫干燥處理，電子元器件的真空測量 | |
|---|---|---|
| 2) | 真空含浸：發(fā)泡材等海棉材等的空氣去除，絕緣材類，防腐材料，硬化材料等的真空含浸的真空度管理。 | |
| 3) | 真空保存：無氧化氛圍氣（真空及不活性氣體的置換）中的氧化生材料?食品，藥品等的保存壓力的管理與監(jiān)測。 | |
| 4) | 搬運設(shè)備（被搬運物的吸附確認(rèn)）：真空吸附搬運系統(tǒng)，真空泵，真空傳感器的組合等的真空吸附的確認(rèn)。 | |
| 5) | 簡易真空設(shè)備的應(yīng)用。 |
PVD-9500-L11/PVD-9500-L21/PVD-9500-L31型真空計
測壓部件以超薄金屬膜制成的薄膜（隔膜）型真空計，以電極間的靜電容量的變化來反應(yīng)真空壓力的一種真空壓力測量設(shè)備。零點的安定性高，測量范圍廣，腐食性氣體亦可使用。配備不同型號的測定子，可以做不同范圍的測量，按測量目的的不同可以選取不同型號的機(jī)型。
| 型號 | PVD-9500-L11 | PVD-9500-L21 | PVD-9500-L31 |
|---|---|---|---|
| 測量范圍 | 1333Pa～1Pa | 13.33kPa～0.01kPa | 133.3kPa～0.2kPa |
| 壓力單位 | Pa | kPa | kPa |
| 表示周期 | 10回／秒 | ||
| 控制輸出 | 輸出接點3點獨立 | ||
| 繼電器接點輸出 AC110V 6A, 220V 3A（電阻負(fù)載） | |||
| 記錄輸出 滿量程 0～10V DC | |||
| 電源電壓 | AC 110V±10% 50Hz／60Hz 20VA | ||
| 尺寸 | W120×D200×H90 mm | ||
| 重量 | 1.8kg 測定子510g（ 接線7P-2ME 長2m） | ||
| 測定子 | L11型 | L21型 | L31型 |
*真空測壓口用部件選用1215PS（內(nèi)徑12.7φ）
絕點精度
隔膜，薄膜真空計對單位面積的絕對壓力可以做到非常正確的測量。不受被測腔體內(nèi)的氣體種類的影響，可以做到0.5%的精度的絕對壓力測量，一般可以做為壓力標(biāo)準(zhǔn)器使用。
零點安定性
采用雙測量電極的電極構(gòu)造，內(nèi)部的電路，構(gòu)造等采用機(jī)械，熱力學(xué)的設(shè)計，減少了受周圍環(huán)境的影響。
再現(xiàn)性
隔膜，薄膜真空計的反復(fù)使用的測量結(jié)果的再現(xiàn)性可以達(dá)到1×10-4以上的精度。歸零，大壓氣的設(shè)定等測定范圍無不良影響。
真空測壓口用部件
油回收器（OIL MIST TRAP） |
自動防逆流閥 |
油面計 |
真空泵用油 |
|---|---|---|---|
真空用配管 |
真空閥門 |
特殊自動防逆流閥LCLV |
真空橡膠管 |
真空油過濾器 |
其它真空部件備品 |
KEYWORDS：佐藤真空， SATOVAC， 真空泵系列
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